附件2：部分集成电路生产企业免税进口集成电路生产设备零、配件商品目录
|
序号
|
设备类型
|
英文名称(企业参考)
|
设备零、配件
|
零、配件税则号列
|
|
1
|
化学机械研磨设备 | CMP | 研磨(二氧化硅、多晶硅、浅沟槽、铜研磨、钨研磨)设备配件(化学机械研磨机) | 84799090／84669300 |
|
2
|
Defect lnspection／Back OrderFor RT8800 Automatic Reticlelnspection System／MaskParticle & Pellicle DefectionSystem | 缺陷测试设备配件(缺陷检测仪)／自动缺陷检查仪／缺陷分析仪／缺陷检测仪(排气管接口)／光罩颗粒／薄膜缺陷检测系统配件 | 90299000／90319000 | |
|
3
|
Particle Counter | 颗粒计数仪配件／粒子计数器配件 | 90299000／90309000 | |
|
4
|
Profiler | 剖面测量仪配件(高精度表面凸凹检测仪) | 90309000 | |
|
5
|
表面轮廓仪配件 | 90309000 | ||
|
6
|
Wafer Sort | 晶圆分类机设备配件 | 84799090 | |
|
7
|
扩散设备 | RTA | 快速热退火炉—热退火设备配件(快速热处理器) | 85149090 |
|
8
|
Sheet Resistance | 电阻量测仪配件／层电阻测定仪配件／比电阻测定仪配件 | 90309000／90319000 | |
|
9
|
Surface Charge Analyzer | 表面电荷分析仪配件 | 90279000 | |
|
10
|
VF LPCVD | 低压化学气相沉积炉管配件 | 84859000／84799090／84799090 | |
|
11
|
VF Poly Oxide／Anneal | 常压垂直炉管(包括退火、干燥、合金化、膜生长垂直炉管)配件 | 85149090 | |
|
12
|
Parts for Vertical Furnace | 氧化机配件 | 84199090 | |
|
13
|
IPI | 高温燃烧废气处理设备配件 | 84199090 | |
|
14
|
Vacuum Pump | 真空泵配件／干泵配件／生产真空泵配件 | 84149090 | |
|
15
|
Tube Cleaner | 炉管清洗设备配件／炉管清洗机配件／炉芯管清洗机配件 | 84219990／85149090 | |
|
16
|
Dry Scrubber | 干式清洗设备配件(清洗机) | 84199090 | |
|
17
|
Parts Cleaner HF | 零件清洗机配件 | 84249090／84219990／85439090 | |
|
18
|
静态老化炉配件 | 84179090 | ||
|
19
|
数字器件标准老化炉配件 | 85149000 | ||
|
20
|
单晶硅外延炉配件 | 84179090 | ||
|
21
|
老化炉配件 | 85149000 | ||
|
22
|
扩散炉配件 | 85149090 | ||
|
23
|
聚酰胺烘陪炉配件 | 85149090 | ||
|
24
|
氮气处理配件 | 85149090 | ||
|
25
|
椭圆仪配件 | 90319000 | ||
|
26
|
扩散用工夹具清洗机／化学气相沉积用工夹具清洗／工夹具有机清洗装置配件 | 85149090／84799090／84669300 | ||
|
27
|
温度控制器配件 | 90329000 | ||
|
28
|
化学气相沉 | 温度分布测定机配件 | 90319000 | |
|
29
|
积／薄膜设备 | 除害装置配件 | 84219990 | |
|
30
|
四乙氧基硅烷(TEOS)供给系统配件 | 84799090 | ||
|
31
|
磷浓度测定仪配件 | 90269000 | ||
|
32
|
尘埃检查仪配件 | 90309000 | ||
|
33
|
粒子监视系统配件 | 90309000 | ||
|
34
|
供气系统／气体供给系统配件 | 84799090 | ||
|
35
|
气体精制机(氮气)配件 | 84219990 | ||
|
36
|
涡轮分子泵／低温泵配件 | 84139100 | ||
|
37
|
特性检查配件 | 90319000 | ||
|
38
|
气体泄漏监视系统配件 | 90269000 | ||
|
39
|
气体集中供给装置配件 | 84799090 | ||
|
40
|
CIF3废气吸附装置配件 | 84219990 | ||
|
41
|
聚酰亚胺烘焙配件 | 84799090 | ||
|
42
|
薄膜设备 | FTIR | 傅力叶红外线检测仪配件(量测仪) | 90319000 |
|
43
|
PVD | 物理气相沉积设备(仪)配件 | 84219990 | |
|
44
|
CVD | 化学气相沉积设备(仪)配件／化学气相沉积设备／高密度等离子化学气相沉积／亚大气压化学气相沉积配件 | 84219990／84799090 | |
|
45
|
SMIF ARM | 标准机器界面设备配件(晶片上料机) | 84859000 | |
|
46
|
SMIF | 小型无尘室配件 | 84219990 | |
|
47
|
Parts Cleaner | 工艺配件清洗设备(包括石英管、片架、片盒、晶盒掩模版等)配件(零件清洗机)(清洗机) | 84249090／84219990 | |
|
48
|
擦片机配件／化学机械抛光擦片机配件／浅沟道隔离化学机械研磨擦片机／双面擦片机配件 | 84799090／84669100 | ||
|
49
|
Waste Gas Treatment(Induding Local Scrubber，Burn Tube，Cool Trap…) | 工艺废气处理设备配件(高温燃烧废气处理设备) | 85149090 | |
|
50
|
Stress Measurement SystemParts | 应力测量仪配件／应力测定仪配件 | 90309000／90269000 | |
|
51
|
Sputter | 溅射设备配件 | 84799090 | |
|
52
|
Vapor HF | 气相清洁设备配件 | 84799090 | |
|
53
|
XRF | X射线测量仪配件(X射线晶片分析仪) | 90309000 | |
|
54
|
Cu Plating | 铜电镀机配件 | 84799090 | |
|
55
|
Wafer Transfer System Parts | 晶盒运输设备配件 | 84859000／84799090 | |
|
56
|
Wafer Scrubber System Parts | 晶片清洗设备(清洗机)(清洁机)(硅片清洗机)(清洗过滤机)配件 | 84219990 | |
|
57
|
Liquid Delivery System Parts | 自动供液系统(输送机)配件 | 84859000 | |
|
58
|
Sheet Resistance MeasurementSystem and Parts | 阻抗量测仪器及配件 | 90309000 | |
|
59
|
ESD TLP System | 静电测试系统配件 | 90309000 | |
|
60
|
金属化 | 溅射台配件 | 84799090 | |
|
61
|
段差测定仪配件 | 90319000 | ||
|
62
|
表面反射率计配件 | 90319000 | ||
|
63
|
真空烘箱／烘箱／HT烘箱配件 | 85149090／85149000 | ||
|
64
|
固化烘箱／塑封固化烘箱配件 | 84779000 | ||
|
65
|
喷砂机配件 | 84249090 | ||
|
66
|
干燥机／版盒干燥机配件 | 85149090 | ||
|
67
|
萤光X线分析装置配件 | 90319000 | ||
|
68
|
干法蚀刻 | Corner Rounding | 倒角设备配件 | 84669300 |
|
69
|
Metal／W Etchback Etch | 金属／钨回蚀设备配件 | 84669300 | |
|
70
|
Microscope／Wafer Loader | 光学显微镜／硅片承载器配件 | 90119000 | |
|
71
|
Etch-Spacer | 衬垫蚀刻设备配件 | 84669300 | |
|
72
|
Opticstation | 光学检测设备配件 | 90319000 | |
|
73
|
Etch | 蚀刻设备配件(刻蚀机)／电浆蚀刻机配件／干式蚀刻机(铬膜和半透膜)配件／反应离子刻蚀仪配件／反应离子刻蚀系统配件／背面多晶刻蚀机配件／研削用背面刻蚀机／等离子刻蚀机配件 | 84669300／84669300 | |
|
74
|
Plasma Clean | 等离子体清洁设备配件 | 84799090 | |
|
75
|
Resist Strip | 去胶机／等离子去胶机／酸去胶机配件 | 84219990／84799090／84669300／84669300 | |
|
76
|
SN De-Polymer | 高分子聚合物去除设备配件 | 84799090 | |
|
77
|
UV Curing-MET | 紫外线固化(金属)设备配件 | 84799090 | |
|
78
|
回刻机配件 | 84669300 | ||
|
79
|
气体泄漏监视装置配件 | 90269000 | ||
|
80
|
工夹具水洗装置配件 | 84669300 | ||
|
81
|
工夹具干燥装置／化学气相沉积用工夹具干燥配件 | 85149090／84799090 | ||
|
82
|
研磨设备 | Backside Grindcr／Polisher | 晶片背研磨机(研磨机)配件 | 84799090／84669300 |
|
83
|
Backside Thickness Measurement | 背面测厚仪配件 | 90269000 | |
|
84
|
Detape | 去膜机配件／卸膜机配件 | 84799090／84669300 | |
|
85
|
Tape | 贴膜机配件 | 84799090／84669300 | |
|
86
|
离子注入没备 | Dose Measurement | 剂量测量设备配件 | 90289010 |
|
87
|
Current IMP | 离子注入设备配件(高速流、高能量) | 85439010 | |
|
88
|
离子注入设备配件(中速流) | 85439010 | ||
|
89
|
喷砂机配件 | 85439090 | ||
|
90
|
光罩生产设备 | AIMS Metrology System | 空间影像模拟系统配件 | 90089090 |
|
91
|
Auto Pellicle Mounting Sys-tem | 自动防尘保护膜系统配件 | 84799090 | |
|
92
|
CD Metrology System | 微距量测系统配件 | 90179000 | |
|
93
|
Goater & Hot Plate | 镀膜机配件 | 84799090 | |
|
94
|
FIB Reticle Repair System | 聚焦离子束光罩修补系统配件(光罩修补系统) | 90279000 | |
|
95
|
Film Thickness MeasurementTool | 薄膜厚度量测机(测量仪器)／膜厚测定仪／厚度仪配件 | 90309000／90319000 | |
|
96
|
Laser Beam Writing | 扫描式(步进式、电子束、镭射束)曝光机配件 | 90109090 | |
|
97
|
镭射束(电子束)曝光机配件(镭射刻读机)配件 | 84799090 | ||
|
98
|
Laser Reticle Repair System | 镭射光罩修补系统配件(光罩修补系统) | 90279000 | |
|
99
|
光罩修补系统配件 | 90279000 | ||
|
100
|
M&M Visual InspectionTool | 目检机(包括焊线目检机、自动目检机、自动盘装目检机、自动管装目检机)配件 | 90319000／84799090 | |
|
101
|
Manual Pellicle Mounting Tool | 手动防尘保护膜系统配件 | 84799090 | |
|
102
|
Optical Chemical Processor | 光学化学制程机配件(光掩模制程机) | 90109090 | |
|
103
|
Overlay Metrology System | 标记误差量测系统配件(叠对标记差测量仪) | 90179000 | |
|
104
|
Phase Angle Measurement Tool | 相位量测系统配件 | 90179000 | |
|
105
|
Starlight Inspection System | 微尘检验系统配件(脏污检验系统) | 90309000 | |
|
106
|
Reticle Fine-cleaning System／Wet Bench | 光罩清洗系统配件／湿式光罩清洗仪配件(水洗台)／去光阻清洗系统配件 | 84799090 | |
|
107
|
扫描电子测量仪配件 | 90309000 | ||
|
108
|
产品工程设备 | MOSAID EFA Tester | 测试机配件 | 90309000 |
|
109
|
UV Eraser | 紫外线光源擦除机配件 | 85439090 | |
|
110
|
Cycling Machine | 重复读写测试机配件 | 90309000 | |
|
111
|
Precision Semiconductor Parameter Analyzer | 精密半导体参数分析仪(参数分析仪)配件 | 90279000 | |
|
112
|
光刻设备 | Ammonia Detector | 氨气检测器配件(多种气体分析仪) | 90279000 |
|
113
|
Hot Plate | 热板烘干机配件 | 84799090 | |
|
114
|
In-Line DUV Scanner | 光刻机配件 | 90109090 | |
|
115
|
光刻机用控制器配件 | 84859000 | ||
|
116
|
In-Line DUV Track | 在线式涂布显影机配件 | 84799090 | |
|
117
|
Mask Optical Microscope | 显微镜(包括红外线电子显微镜、电子显微镜、穿透式电子显微镜、电子扫描显微镜、非接触测量显微镜)配件 | 90129000／90119000 | |
|
118
|
光学显微镜配件／激光显微镜／金相显微镜／X射线显微镜／高倍显微镜／共聚焦显微镜／发射显微镜配件 | 90119000 | ||
|
119
|
立体显微镜配件 | 90119000 | ||
|
120
|
Overlay | 套刻精度仪配件(量测仪)／套刻精度检测仪配件 | 90309000／90319000 | |
|
121
|
Coater | 涂布机配件(涂胶机)／涂敷机配件 | 84799090 | |
|
122
|
Developer／PR Reworker | 显影机配件 | 84799090 | |
|
123
|
Reworker Dryer before Cure | 光刻胶预处理设备配件 | 84799090 | |
|
124
|
紫外线光刻胶硬化机配件 | 90109090 | ||
|
125
|
Reticle Charger／Macro Check Station | 光罩检测仪配件(晶片盒开封机) | 84799090 | |
|
126
|
StarliSht Mask InspectionSystem | 光罩检测检查系统配件 | 90319000 | |
|
127
|
版盒清洗机配件 | 90330000.9 | ||
|
128
|
硅片周边曝光装置配件 | 90330000.9 | ||
|
129
|
紫外固胶机配件 | 90330000.9 | ||
|
130
|
紫外线处理装置配件 | 90330000.9 | ||
|
131
|
罩清洗机配件 | 90330000.9 | ||
|
132
|
显影液供给系统配件 | 90330000.9 | ||
|
133
|
溶剂供给系统配件 | 90330000.9 | ||
|
134
|
氦气气瓶柜配件 | 84799090 | ||
|
135
|
掩膜板检测仪配件 | 90319000 | ||
|
136
|
扫描电镜配件 | 90119000 | ||
|
137
|
聚焦离子光束、扫描电子显微镜配件 | 90330000.9 | ||
|
138
|
测试工作台配件 | 90319000 | ||
|
139
|
硅片分类机／倒片机／超高压化学气相沉积倒片机配件 | 84799090 | ||
|
140
|
外观检查仪配件 | 90319000 | ||
|
141
|
背面外观仪配件 | 90319000 | ||
|
142
|
质量保证设备 | SIMS | 二次离子质谱仪配件(质谱仪)／电感偶合质谱仪配件 | 90279000 |
|
143
|
Air Sampler | 空气取样器配件(极早期空气采样系统) | 90329000 | |
|
144
|
GC／MS (Gas Chromatography) | 气相色谱质谱联用分析仪配件 | 90279000 | |
|
145
|
GFAAS | 石墨炉原子吸收光谱仪配件(原子吸收分光光谱仪) | 90279000 | |
|
146
|
Ion Chromatography | 离子色谱仪配件 | 90279000 | |
|
147
|
KF Titrator | 水分滴定仪配件(水分仪) | 90319000 | |
|
148
|
Microwave Concentrator | 微波浓缩装置配件 | 90309000 | |
|
149
|
Auto Titrator | 自动电位滴定仪配件(自动滴定仪) | 90319000 | |
|
150
|
Viscometer | 粘度计配件(粘度测量仪) | 90319000 | |
|
151
|
Hot Plate | 搅拌器配件 | 84749000 | |
|
152
|
加热器配件 | 85169090 | ||
|
153
|
可靠性保证设备 | Auto-Decapsulation Machine | 自动开封机配件(晶片盒开封机) | 84799090 |
|
154
|
FIB | 聚焦离子束设备配件 | 85439030 | |
|
155
|
Ion Milling | 离子减薄机配件 | 84799090 | |
|
156
|
Micro Cleaving | 裂片机配件 | 84799090 | |
|
157
|
Microsection／Polisher | 抛光机配件(化学机械抛光设备) | 84859000／84669100 | |
|
158
|
Precision Saw | 精密切割仪／激光切割机配件(低速切割机) | 84859000／84669300 | |
|
159
|
Reflow | 回流焊设备配件 | 84689000 | |
|
160
|
Sample Preparation-ＣＯ2 System | 二氧化碳气泡机配件 | 84799090 | |
|
161
|
Sample Preparation-DicingSaw | 划片机配件 | 84799090／84779000／84649100 | |
|
162
|
Sample Preparation-DieBonder | 上片机配件(粒子上片机) | 84799090 | |
|
163
|
Sample Preparation-WaferMounter | 粘片机配件 | 84799090 | |
|
164
|
Sample Preparation-WireBonder | 焊线机配件 | 85159000 | |
|
165
|
X-ray | X射线分析仪配件(X射线晶片分析仪) | 90309000 | |
|
166
|
Failure Analysis Instrument | 故障分析仪配件 | 90309000 | |
|
167
|
Failure Analysis SamplePreparation | 失效分析样品制备系统配件 | 90319000 | |
|
168
|
EL Grade Clean Plastic Bottle(PE／PP／PTFE) | 超洁净塑料瓶 | 39269010 | |
|
169
|
Sterilized Sampling Tube | 无菌采样管 | 39172900 | |
|
170
|
Volumetric Flask(PE／PP／PFA／PMP) | 超洁净塑料凉瓶 | 39269010 | |
|
171
|
Micropipette | 微量移液管 | 39269010 | |
|
172
|
DIW Sample Bag | 无菌取样袋 | 39239000 | |
|
173
|
Plastic Syringe | 无菌塑料针管 | 39173900 | |
|
174
|
分析装置配件 | 90319000 | ||
|
175
|
去离子水系统配件 | 84219990 | ||
|
176
|
中央控制系统配件 | 84733090.9 | ||
|
177
|
蒸汽回流机配件 | 85439090 | ||
|
178
|
红外线回流系统配件 | 90319000 | ||
|
179
|
塑模开封机配件 | 84669100 | ||
|
180
|
化学腐蚀装置配件 | 84669300 | ||
|
181
|
超声波清洗系统配件 | 84669300 | ||
|
182
|
超声波图机配件 | 90319000 | ||
|
183
|
热载流子分析仪配件 | 90319000 | ||
|
184
|
曲线跟踪仪配件 | 90319000 | ||
|
185
|
POD／Cassette Inspection | 晶盒检测仪配件 | 90309000 | |
|
186
|
TXRF | X射线荧光光谱仪配件 | 90279000 | |
|
187
|
W.S.Wafer Scrubber-Non Metal | 晶片去离子水喷射刷洗设备配件 | 84249090 | |
|
188
|
Wafer Marker | 激光晶圆刻片机配件(激光刻号机) | 84799090 | |
|
189
|
Wafer RS&THK／Flat | 晶圆片厚度／平整度测量仪配件(表面凸凹检测仪) | 90309000 | |
|
190
|
ALU | 石英舟自动装载设备配件(晶片盒开封机) | 84799090 | |
|
191
|
研发设备 | Dynamic Signal Analyzer | 动态信号分析仪配件(噪声汁) | 90309000 |
|
192
|
超声波扫描仪配件 | 90319000 | ||
|
193
|
温湿度箱／压力锅配件 | 85439090 | ||
|
194
|
高加速应力实验箱配件 | 90309000 | ||
|
195
|
逻辑分析仪配件 | 90279000 | ||
|
196
|
晶体管曲线仪配件 | 85439090 | ||
|
197
|
静电模拟测试机配件 | 90309000 | ||
|
198
|
LCR Meter | 电感电阻电容测试仪配件 | 90309000 | |
|
199
|
Pulse Generator | 专用脉冲发生器配件 | 85439029 | |
|
200
|
Semiconductor ParameterAnalyzermanual | 半导体参数分析设备配件(参数分析仪) | 90279000／85439090 | |
|
201
|
Semiconductor ParametricTester | 半导体参数测试设备(仪)配件 | 90309000 | |
|
202
|
Switch Matrix | 信号自动转接器配件 | 85191090 | |
|
203
|
RF Noise Figure Instrument | 高频噪声系数分析仪配件 | 90319000 | |
|
204
|
CCAP RF Measurement System | 高频测试系统配件 | 90319000 | |
|
205
|
Curve Tracer | 信号轨迹追踪器配件 | 90319000 | |
|
206
|
ESD TLP System | 静电放电测试系统配件 | 90309000 | |
|
207
|
图像处理器配件 | 84719000 | ||
|
208
|
绘图机配件 | 90330000.9 | ||
|
209
|
热波测试仪配件 | 90279090 | ||
|
210
|
高低温分析仪配件 | 90319000 | ||
|
211
|
微探针台配件 | 90319000 | ||
|
212
|
电子束探针／热探针仪／自动多探针配件 | 90319000 | ||
|
213
|
验证测试系统配件 | 90319000 | ||
|
214
|
测试设备 | Laser Repair | 激光修复仪配件 | 90319000 |
|
215
|
Logic Tester | 元件电参数测试设备配件 | 90319000 | |
|
216
|
Prober Card Check | 探针卡检测仪配件(探针测试仪) | 90309000 | |
|
217
|
Prober | 探针台(手动、半自动、自动、微探针台)配件 | 84799090／90319000 | |
|
218
|
探针卡 | |||
|
219
|
Wafer Bake Oven Fittings | 烤箱(包括晶元烤箱、动态老化晶元烤箱、银浆固化烤箱、高温烘烤箱、烤炉)配件 | 85149090／84199090 | |
|
220
|
Logic Tester Fittings | 逻辑测试机配件 | 90319000 | |
|
221
|
Memory Tester Fittings | 记忆体测试机配件 | 90319000 | |
|
222
|
Wafer Loader | 晶圆装载机配件 | 84799090 | |
|
223
|
Tester Equipment PC Tool Fittings | 测试设备电脑工具配件 | 84719000 | |
|
224
|
Probe Card Making Equipment Fittings | 探针卡制作设备配件 | 84799090 | |
|
225
|
Ultra Sonic Container Fittings | 超音波震荡器配件 | 90319000 | |
|
226
|
Tester Electronic Meter Fittings | 测试仪计量设备配件 | 90309000 | |
|
227
|
Mother-Plate Fitting for Tester | 测试仪专用工夹具及配件 | 90319000 | |
|
228
|
Microscope Guard Against Earthquakes Fittings | 显微镜防震工作台配件 | 90119000 | |
|
229
|
Thermometer & Humidometer Fittings | 温湿度测试仪配件 | 90259000 | |
|
230
|
与机台相配套的高清晰度专用激光打印机配件 | 84859000 | ||
|
231
|
Logic Analyzer Fitting | 逻辑分析仪配件 | 90279000 | |
|
232
|
Precise Oscillator Fittings | 精密示波器配件(示波器) | 90309000 | |
|
233
|
Wafer Burn-in Tester Fitting | 炙烧测试机配件 | 84799090 | |
|
234
|
Dynamic Wafer Burn-in Bake Oven Fittings | 动态老化晶圆烤箱配件 | 84199090 | |
|
235
|
Mixed Signal Tester Fittings | 混合型测试机配件 | 90319000 | |
|
236
|
数字测试系统配件 | 90319000 | ||
|
237
|
混合信号测试系统配件 | 90319000 | ||
|
238
|
密封机配件 | 84779000 | ||
|
239
|
外观检查仪配件 | 90319000 | ||
|
240
|
切片机配件 | 84669100 | ||
|
241
|
粉尘收集器配件 | 84213990.9 | ||
|
242
|
尘埃测定器配件 | 90319000 | ||
|
243
|
热电子分析仪配件 | 90319000 | ||
|
244
|
湿法刻蚀设备 | W.S.Cleaner | 湿法清洗设备配件 | 84799090 |
|
245
|
晶片再生处理机配件 | 84569990.9 | ||
|
246
|
Wafer Transfer／Transfer，Horizontal，Wafer，Automatic | 晶片传送器配件(晶片传送机) | 84859000 | |
|
247
|
超声清洗机／酸清洗机／超声清洗机／片盒清洗干燥机／剥膜清洗机／自动腐蚀清洗机／片架清洗机配件 | 84669300 | ||
|
248
|
氧化膜腐蚀配件 | 84669300 | ||
|
249
|
氮化硅腐蚀配件 | 84669300 | ||
|
250
|
磷玻璃层去除设备配件 | 84669300 | ||
|
251
|
化学机械抛光清洗机配件 | 84669100 | ||
|
252
|
浆料供给装置配件 | 84669300 | ||
|
253
|
光刻胶剥离配件 | 84669300 | ||
|
254
|
减薄机配件 | 84669100 | ||
|
255
|
化学机械研磨用纯水加压装置配件 | 84669100 | ||
|
256
|
半球形玻璃(HSG)前处理装置配件 | 84669300 | ||
|
257
|
寿命测试仪配件 | 90319000 | ||
|
258
|
片架检查仪配件 | 90319000 | ||
|
259
|
淀积物去除装置配件 | 84669100 | ||
|
260
|
栅氧化前处理配件 | 84669300 | ||
|
261
|
荧光X射线分析装置配件 | 90319000 | ||
|
262
|
化学机械研磨用残膜测定仪配件 | 90319000 | ||
|
263
|
前处理装置配件 | 84669300 | ||
|
264
|
搬送 | 工程间搬送设备配件 | 84859000 | |
|
265
|
工程间有轨／无轨搬送设备配件 | 84859000 | ||
|
266
|
掩模版库配件 | 90330000.9 | ||
|
267
|
机器人配件 | 84799090 | ||
|
268
|
精选机配件 | 90319000 | ||
|
269
|
封装 | 贴片机配件 | 84779000 | |
|
270
|
后工序封装设备 | 等离子清洗机配件 | 84799090 | |
|
271
|
晶片粘贴机配件 | 84799090 | ||
|
272
|
金线拉力检测机配件 | 90309000 | ||
|
273
|
自动生产线线体配件 | 84799090 | ||
|
274
|
二氧化碳充气机配件 | 84799090 | ||
|
275
|
印字机配件 | 84439000 | ||
|
276
|
切筋成型机配件 | 84669400 | ||
|
277
|
X光机配件 | 90229090 | ||
|
278
|
植球机配件 | 84779000 | ||
|
279
|
清洗机配件 | 84799090 | ||
|
280
|
推球测试机配件 | 90309000 | ||
|
281
|
内脚焊接配件 | 84689000 | ||
|
282
|
封胶机配件 | 84779000 | ||
|
283
|
抓料机配件 | 84799090 | ||
|
284
|
电镀机配件 | 84799090 | ||
|
285
|
后工序测试设备 | 自动分检机配件 | 84799090 | |
|
286
|
卷带包装机配件 | 84799090 | ||
|
287
|
老化板测试机配件 | 90309000 | ||
|
288
|
自动上下料分检机配件 | 84799090 | ||
|
289
|
紫外线擦除机配件 | 85439090 | ||
|
290
|
电源及其配件 | 85049020 | ||
|
291
|
实验分析校准没备 | 温湿度箱／压力锅配件 | 85439090 | |
|
292
|
高加速应力实验箱配件 | 90309000 | ||
|
293
|
回流焊机配件 | 84799090 | ||
|
294
|
温度循环测试机配件 | 90309000 | ||
|
295
|
纯水加压机配件 | 84779000 | ||
|
296
|
装片机配件 | 84779000 | ||
|
297
|
键合机配件 | 84779000 | ||
|
298
|
键合检查仪配件 | 90319000 | ||
|
299
|
塑封压机／塑封机配件 | 84779000 | ||
|
300
|
塑封模配件 | 84779000 | ||
|
301
|
切筋打弯机配件 | 84779000 | ||
|
302
|
存储器测试系统配件 | 90319000 | ||
|
303
|
分选机配件 | 84779000 | ||
|
304
|
管脚检查系统配件 | 84779000 | ||
|
305
|
插拔机配件 | 84799090 | ||
|
306
|
老化测试板检查仪配件 | 90319000 | ||
|
307
|
托盘处理机配件 | 84779000 | ||
|
308
|
生产管理自动控制系统 | 主系统服务器配件 | 84733090.9 | |
|
309
|
生产管理系统配件 | 84733090.9 | ||
|
310
|
管理系统服务器配件 | 84733090.9 | ||
|
311
|
自动装载系统配件 | 84733090.9 | ||
|
312
|
生产控制系统Ｈ／Ｗ配件 | 84733090.9 | ||
|
313
|
后道生产控制系统服务器配件 | 84733090.9 | ||
|
314
|
抄送邮件服务器配件 | 84733090.9 | ||
|
315
|
网络设备(FA，OA)配件 | 84733090.9 | ||
|
316
|
网络测试系统配件 | 84733090.9 | ||
|
317
|
芯片出货检测设备 | Wafer Vacuum Packing Machine | 各类芯片专用真空包装机配件／真空包装机配件 | 84229090／84779000／84799090 |
|
318
|
OM Digital Printer | 显微镜数码打印机配件 | 84859000 | |
|
319
|
OM 3CCD RGB Camera | (带三电荷耦合装置)显微镜数码相机配件 | 90069199 | |
|
320
|
Bar Code Printer | 工业用条形码打印机配件 | 84859000 | |
|
321
|
VLSI Standard Wafer | 各类校准用标准晶片配件 | 90319000 | |
|
322
|
TRH Meter，Anemometer，TRH Recorder | 各类温湿度风速压力颗粒测量仪及其记录器配件 | 90269000 | |
|
323
|
Lockreel | 塑料带轮配件 | 39269090 | |
|
324
|
Tip，Wand，Vaccum | 硅片(晶片)吸附头 | 39269010 | |
|
325
|
Vaccum Pick-Up Pencil With Head | 真空吸笔及吸头 | 40161010 | |
|
326
|
Cabiliary | 瓷嘴配件 | 69149000 | |
|
327
|
Diamond Cut-off Wheel | 切割轮(金刚砂)配件 | 68042100 | |
|
328
|
Diamond Blade | 切割刀配件 | 82089000 | |
|
329
|
Reject Pin | 顶起针配件 | 73199000 | |
|
330
|
Magazine／Frame | 弹匣／芯片承载环配件 | 73261910 | |
|
331
|
Tweezer，Wafer | 晶片镊 | 82032000／73269010 | |
|
332
|
Print Cmridge | 喷塑匣配件 | 84719000 | |
|
333
|
HPC Sampler Red 25／PK | 去离子水细菌测量抽样仪配件 | 90318090 | |
|
334
|
电学计量校准检定设备 | Digital Multimeter Calibrator Parts | 数字多用表校准标准器配件 | 90319000 |
|
335
|
Precision Oscilloscope Calibrator Parts | 示波器精密校准器配件 | 90309000 | |
|
336
|
AC／DC Voltage and Current Calibrator Parts | 交直流电压、电流标准装置配件 | 90309000 | |
|
337
|
Resistance Standard CalibratorParts | 电组标准检定装置配件 | 85389000 | |
|
338
|
Multiple Channel Power Calibrator Parts | 多功能标准源装置配件 | 85049090 | |
|
339
|
Signal Generator CalibratorParts | 信号发生器检定装置配件 | 90319000 | |
|
340
|
力学计量校准检定设备 | PressureGaugeCalibratorParts | 压力表检定装置配件 | 90269000 |
|
341
|
Liquid／Gas Flow Meter Calibrator Parts | 流量计标准装置配件 | 90269000 | |
|
342
|
VelocityMeterCalibrator Parts | 转速表检定装置配件 | 90269000 | |
|
343
|
热工计量校准检定设备 | Themlocouple CalibratorParts | 热电偶检定标准装置配件 | 90329000 |
|
344
|
Temperature Calibrator Parts | 温度校准器配件 | 90329000 | |
|
345
|
Heater Furnace Calibrator Parts | 温度炉标准配件 | 90329000 | |
|
346
|
Control Equipment & Spare Parts | 控制装置配件 | 84859000 | |
|
347
|
Ultra-Violet Equipment & Spare parts | 紫外线杀菌灯配件 | 85399000 | |
|
348
|
纯水，排水与药品供给回收系统 | 化学品供应系统配件 | ||
|
349
|
化学品混合机配件 | 84799090 | ||
|
350
|
电气系统 | 六氟化硫组合电器柜配件 | 85489000 | |
|
351
|
10kV真空断路器配件 | 85489000 | ||
|
352
|
电力数据采集监控系统配件 | 85489000 | ||
|
353
|
高电压绝缘开关柜／高电压真空开关柜／不间断电源用高电压开关柜／高电压开关柜配件 | 85389000 | ||
|
354
|
高电压主变压器／站用干式变压器／不间断电源用于式变压器／不间断电源用旁路变压器配件 | 85030090／85049019 | ||
|
355
|
电力电容成套装置配件 | 85389000 | ||
|
356
|
综合保护装置配件 | 85389000 | ||
|
357
|
高电压电压监视系统配件 | 85389000 | ||
|
358
|
ATS电源转换装置配件 | 85049019 | ||
|
359
|
发电机并车装置配件 | 85030090 | ||
|
360
|
中央监控站设备配件 | 85389000 | ||
|
361
|
冷冻机组配件 | 84189999 | ||
|
362
|
高效风车过滤单元配件 | 84219990 | ||
|
363
|
高效率过滤器配件 | 84219990 | ||
|
364
|
静电消除装置配件 | 90329000 | ||
|
365
|
温湿度监控系统配件 | 85319090 | ||
|
366
|
真空扫除机配件 | 84219990 | ||
|
367
|
气体系统 | 气体品质监控系统配件 | 85319090 | |
|
368
|
气瓶柜输送系统配件 | 84313900 | ||
|
369
|
气体纯化器系统配件／气体纯化装置配件 | 84219990 | ||
|
370
|
气体溅楼漏侦测系统配件 | 85319090 | ||
|
371
|
化学品过滤及供应系统 | 控制装置配件 | 84733090 | |
|
372
|
管道阀及其配件 | 84819010 | ||
|
373
|
过滤器滤芯及其配件 | 84219990 | ||
|
374
|
化学品储存桶槽及其配件 | 39269010 | ||
|
375
|
化学品成分及浓度测量装置及其配件 | 90289090 | ||
|
376
|
重量测量装置及其配件 | 84239000 |